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金融界2025年1月2日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司获得一项名为“介质窗及半导体工艺腔室”的专利，授权公告号 CN 222233566 U，请求日期为 2023年7月。
专利摘要显现，本请求施行例供给了一种介质窗及半导体工艺腔室，触及半导体工艺技术领域，其间，所述介质窗应用于半导体工艺腔室，所述介质窗的底面具有凹面区，所述凹面区的表面朝接近所述介质窗的顶面的方向洼陷，所述凹面区坐落所述介质窗的底面靠中心的区域。
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